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白光干涉仪
该产品由膜厚仪主机、上位机 PC 软件、光纤组成。用一束准单色平行光照射多层薄膜， 光波会在第 1 到 n 层之间来回多次折射、反射进而形成多个相干光束。这些相干光束进行相 干叠加后，携带多层薄膜的相干信号并沿原路返回。不同波长的准单色光照射薄膜后，携带 的干涉信号不一样。如果用一束含有多种波长的准单色光照射薄膜后，提取各个波段的干涉 信号，通过 OCD 自主知识产权的算法进行反演计算，便可获得每一层薄膜材料...
